Der chinesische Anlagenbauer AMEC hat seine erste Ätzanlage für Chips mit gestapelten Transistoren und Speicherzellen an einen heimischen Chiphersteller ausgeliefert. Im Labor trug die Primo Domingo laut Hersteller mehr als 700-mal so viel Silizium-Germanium ab wie Silizium. Ob sich der Wert in der Serienfertigung bestätigt, muss der ungenannte Kunde erst zeigen.
Ein Klick · kostenlosDr. Web bei Google bevorzugenMarkieren Sie drweb.de als bevorzugte Quelle. Dann sehen Sie unsere Artikel öfter unter den Top-Meldungen.Jetzt hinzufügenAm Mittwoch meldete Lam Research einen Rekordumsatz von 8,22 Milliarden Dollar, umgerechnet 7,32 Milliarden Euro, 35 Prozent davon aus China.[1] Einen Tag später gab AMEC aus Shanghai die erste Lieferung einer Anlage bekannt, die einen Fertigungsschritt übernimmt, den bisher vor allem Lam und Applied Materials anbieten.[2][3][4]
Das Wichtigste in Kürze
- AMEC hat die erste Primo Domingo an einen chinesischen Chiphersteller ausgeliefert, dessen Namen der Konzern nicht nennt.
- Die Anlage entfernt Silizium-Germanium zwischen dünnen Siliziumlagen, ein Schritt für GAA-Transistoren, 3D-NAND und 3D-DRAM.
- Die Selektivität von über 700 zu 1 stammt aus Labortests, die Bestätigung in der Serienfertigung steht aus.
Was muss die Anlage können?
Moderne Logikchips nutzen GAA-Transistoren, die Abkürzung steht für Gate-All-Around. Der Kanal besteht dort aus mehreren übereinanderliegenden Siliziumlagen, die das Gate von allen Seiten umschließt. In der Fertigung wächst dafür zuerst ein Stapel aus abwechselnd Silizium und Silizium-Germanium auf dem Wafer. Das Silizium-Germanium hält nur den Platz frei und muss später wieder heraus, ohne die dünnen Siliziumlagen anzugreifen.[3] Bei 3D-DRAM mit gestapelten Speicherzellen stellt sich dieselbe Aufgabe.
Die Selektivität gibt an, wie viel mehr vom Platzhalter verschwindet als vom Silizium. Für Prozesse mit GAA-Transistoren und 3D-DRAM nennt AMEC in Labortests mehr als 700 zu 1: Auf 700 Nanometer abgetragenes Silizium-Germanium kommt höchstens ein Nanometer Silizium. Laut dem Technikportal IT Home muss der Kunde den Wert in der Serienfertigung noch bestätigen. Vorgestellt hatte AMEC die Anlage schon im März, mit der Lieferung beginnt nun die Erprobung beim Kunden.[5]
Die Primo Domingo ätzt mit Gasen statt mit Flüssigkeit. Eine symmetrische Kammer und kurze Gaswege sollen das Gas gleichmäßig und in kurzen Pulsen über den Wafer verteilen.[2]
Wie weit ist China bei eigenen Ätzanlagen?
Auch Naura arbeitet an diesem Schritt. Im September stellte der Konzern in einer IEEE-Zeitschrift ein Ätzverfahren für 3D-DRAM vor, das eine Selektivität von über 500 zu 1 erreicht. Nach Angaben von IT Home stammen in China erst rund 31 Prozent der eingesetzten Ätzanlagen von heimischen Herstellern, davon etwa 95 Prozent von AMEC und Naura.[5]
Ätzanlagen sind AMECs Kerngeschäft. 2025 setzte der Konzern damit 9,83 Milliarden Yuan um, umgerechnet 1,31 Milliarden Euro und rund vier Fünftel des Gesamtumsatzes. Bis Ende Juni liefen nach Konzernangaben mehr als 8.800 Prozesskammern von AMEC auf über 220 Fertigungslinien im In- und Ausland.[2]
Ein Laborwert ist noch kein Marktanteil. Ernst wird es für Lam und Applied an dem Tag, an dem ein chinesisches Werk mit AMECs Anlage in Serie fertigt.
Michael Dobler, Herausgeber Dr. Web
Was bedeutet das für westliche Ausrüster und Europa?
Für Lam ist China der größte Einzelmarkt: rund 2,9 Milliarden Dollar Umsatz im Quartal, umgerechnet 2,56 Milliarden Euro. Aus Europa kamen 4 Prozent.[1] Applied Materials verkauft seine Selectra-Anlagen für selektives Ätzen seit 2016, Lam brachte 2022 eigene Anlagen für GAA-Transistoren auf den Markt.[3][4]
Seit Dezember 2024 kontrollieren die USA die Ausfuhr von 24 weiteren Arten von Chipfertigungsanlagen nach China.[6] Je mehr dieser Anlagen chinesische Hersteller selbst bauen, desto weniger greifen solche Regeln. Für Lam geht es dabei um den Markt, aus dem gut ein Drittel des Umsatzes stammt.
In Europa entstehen derzeit kaum Werke, die solche Anlagen kaufen. ASML setzte im ersten Halbjahr 2026 in Europa nichts um, die ESMC-Fabrik in Dresden soll ab 2027 produzieren. Ob die Primo Domingo auch außerhalb Chinas Abnehmer findet, lässt AMEC offen.
Quellen
6 Quellen anzeigenQuellen ausblenden
- Lam ResearchLam Research Corporation Reports Financial Results for the Quarter Ended September 27, 2026 (englisch, 21. Oktober 2026, Anlage 99.1 zum Formular 8-K bei der US-Börsenaufsicht SEC)
- AMECAMEC liefert die weltweit erste Anlage für hochselektives Ätzen aus (chinesisch)
- Semiconductor DigestApplied Materials releases selective etch tool (englisch)
- EE JournalLam Research Introduces Groundbreaking Suite of Selective Etch Tools to Accelerate Chipmakers’ 3D Roadmaps (englisch, 9. Februar 2022, Pressemitteilung von Lam Research)
- IT Home, über Sina FinanceAMEC liefert die erste Primo Domingo für GAA und 3D-DRAM aus (chinesisch)
- U.S. Bureau of Industry and SecurityCommerce Strengthens Export Controls to Restrict China’s Capability to Produce Advanced Semiconductors for Military Applications (englisch)
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