Chinas Chip-Ausrüstung soll nicht mehr aus Kalifornien kommen. Ende Juli hat der Anlagenbauer AMEC im chinesischen Wuhan eine weitere Tochtergesellschaft für Halbleiter-Fertigungsanlagen eingetragen, mit einem Stammkapital von 50 Millionen Yuan, rund 6,4 Millionen Euro.[1] Was wie eine Randnotiz im Handelsregister aussieht, ist der nächste Schritt in einem Rennen, das auch Europas Chipbranche trifft.
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Das Wichtigste in Kürze
- AMEC (中微公司) gründet in Wuhan eine weitere Anlagenbau-Tochter (Stammkapital 50 Millionen Yuan, rund 6,4 Millionen Euro), kurz nach einer Tochter in Sichuan mit 100 Millionen Yuan (etwa 12,8 Millionen Euro)
- In Chengdu entsteht für rund 3,05 Milliarden Yuan (etwa 390 Millionen Euro) ein Werk für Dünnschicht-Anlagen, die Produktion soll 2027 anlaufen
- Ätzanlagen tragen über die Hälfte von AMECs Umsatz und sind der Engpass für Chinas Speicherchips, seit US-Exportkontrollen fortschrittliche Anlagen von Lam Research und Applied Materials sperren
- Für Europa verschiebt sich die Abhängigkeit: neben der Lithografie von ASML wird auch die Ätz- und Beschichtungstechnik zum geopolitischen Hebel
Warum gründet AMEC gleich mehrere Werke?
Drei Standorte in wenigen Monaten zeichnen das Muster. Auf die Wuhan-Tochter folgte kurz zuvor eine Gesellschaft in Sichuan mit 100 Millionen Yuan Stammkapital, etwa 12,8 Millionen Euro.[2] Parallel baut der Konzern in Chengdu für rund 3,05 Milliarden Yuan, etwa 390 Millionen Euro, ein Werk für Dünnschicht-Anlagen, mit Produktionsstart 2027. Damit rückt AMEC über das angestammte Ätzgeschäft hinaus in die Beschichtungstechnik vor, ein Feld, das bislang westliche Ausrüster und in Europa der Beschichtungs-Spezialist Aixtron aus Herzogenrath besetzen. Die Expansion läuft parallel zur eigenen Serienfertigung heimischer DUV-Belichter.
Warum sind Ätzanlagen der Engpass?
Hohe, enge Löcher sind das eigentliche Problem. Moderne Speicherchips stapeln ihre Zellen in die Höhe, und je tiefer und schmaler die geätzten Kanäle werden, desto anspruchsvoller ist die Anlage dahinter. Genau diese Technik dürfen Lam Research und Applied Materials nach den US-Exportkontrollen nicht mehr an Chinas führenden Speicherkonzern CXMT liefern, dessen Chips zuletzt so heikel wurden, dass US-Senatoren Apple eine Frist bis zum 21. August setzten. AMEC deckt nach eigenen Angaben über 95 Prozent der Ätzanwendungen ab und erwirtschaftet mit Ätzanlagen mehr als die Hälfte seines Umsatzes von gut neun Milliarden Yuan im Jahr 2024, umgerechnet rund 1,15 Milliarden Euro. Die neuen Werke sollen genau die Lücke füllen, die Washington gerissen hat.
Mit der Ätz-Sperre wollte Washington Chinas Speicherfertigung ausbremsen und finanziert gerade den nächsten heimischen Anlagenbauer. Europa verlässt sich beim Thema Chip-Souveränität zu sehr auf den einen Namen ASML.
— Markus Seyfferth, Chefredakteur Dr. Web
Die Lücke, die AMEC füllen will
US-Exportkontrollen sperren Chinas Speicherhersteller CXMT von fortschrittlichen Ätzanlagen der Marktführer Lam Research und Applied Materials. Genau dort will AMEC mit heimischen Maschinen nachrücken.
Was heißt das für Europas Chipbranche?
Europas Lieferkette denkt Chip-Souveränität bisher fast nur über die Lithografie, über Europas Monopolisten ASML und die Optik von Zeiss. Der zweite Flaschenhals, das Ätzen und Beschichten, geriet weniger in den Blick, obwohl er über das Tempo der Speicherfertigung entscheidet. Baut China diese Anlagen selbst, schrumpft der westliche Hebel gegenüber Peking, und zugleich wächst ein Wettbewerber für Aixtron und andere europäische Ausrüster heran. Für die eigene Beschaffung heißt das: Die Ätz- und Beschichtungstechnik gehört ab sofort als eigene Risikoposition ins Buch, nicht nur die Belichter, und die Abhängigkeit von einzelnen Anlagenherstellern lässt sich früh gegen zweite Bezugsquellen absichern.
Quellen
[1] Sina Finance: „中微半导体设备（武汉）有限公司成立，注册资本5000万“ (Gründung der AMEC-Tochter in Wuhan)
[2] Cailian Press (财联社): „正式落子四川 中微公司半导体设备公司来了“ (AMEC gründet Anlagenbau-Tochter in Sichuan)
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