Eine staatlich finanzierte Firma aus Shanghai fertigt erstmals eigene Belichtungsmaschinen für die Chipproduktion in Serie. Fünf Systeme sollen 2026 an SMIC, Hua Hong und CXMT gehen. Für ASML und die europäische Chip-Zulieferindustrie steht damit der wichtigste Wachstumsmarkt zur Debatte.
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Fünf Maschinen in diesem Jahr, rund zwanzig im nächsten: Mit dieser Stückzahl steigt China erstmals in die Serienfertigung eigener DUV-Lithografie ein, wie The Information und Reuters übereinstimmend berichten.[1] Diese Belichter sind das teuerste Werkzeug jeder Chipfabrik, und bislang kam das Gerät faktisch nur von ASML. Peking arbeitet seit Jahren daran, genau diese Abhängigkeit im Rennen um KI-Chips zu kappen.
Das Wichtigste in Kürze
- Ein staatlicher Konzern aus Shanghai baut Chinas erste Immersions-DUV-Belichter in Serie, fünf Stück noch 2026.
- Abnehmer sind die Foundries SMIC und Hua Hong sowie der Speicherhersteller CXMT.
- Die Maschine zielt auf 28-Nanometer-Chips, per Mehrfachbelichtung sind auch 7-Nanometer-Strukturen möglich.
- Kritische Bauteile stammen weiter aus Japan, ASML behält vorerst seinen Vorsprung.
Was hat China genau gebaut?
Hinter der Meldung steht ein staatlich getragenes Firmengeflecht. Entwickelt hat den Immersions-Belichter das Shanghaier Start-up Yuliangsheng, das dem Huawei-nahen Ausrüster SiCarrier zugerechnet wird; die Serienfertigung führt ein 2023 gegründeter Staatskonzern mit 7 Milliarden Yuan Stammkapital, umgerechnet rund 910 Millionen Euro (Kurs 0,13 Euro je Yuan, Stand 29. Juli 2026).
SMIC erprobt eine erste Maschine bereits seit September 2025. Die meisten Komponenten kommen inzwischen aus China, einige kritische Teile aber weiter aus Japan, weshalb sich der Hochlauf in diesem Jahr verzögert.
Warum ist das kein Chip-Durchbruch?
Die eigentliche Nachricht ist kein neuer, feinerer Fertigungsknoten. 28- und 7-Nanometer-Chips stellt China längst her, bislang mit importierten ASML-Belichtern und dem Trick der Mehrfachbelichtung, bei dem mehrere Belichtungsschritte feinere Strukturen zeichnen als eine einzelne.
Neu ist, wer die Maschine liefert. Seit die Niederlande 2019 die Ausfuhr modernster EUV-Systeme und ab 2023 auch die fortschrittlicher DUV-Technik beschränkten, war die Belichter-Versorgung Chinas größter Engpass. Genau diesen Hebel nimmt Peking mit einer eigenen Fertigung aus der Hand von Washington und Den Haag.
Ein vollständiger Ersatz ist die Maschine damit nicht: Lichtquelle und Präzisionsoptik kommen weiter aus Japan.
Peking baut hier keinen besseren Belichter, sondern einen unabhängigen. Für Europas Chipindustrie ist das die unbequemere Nachricht, denn der Angriff gilt nicht der Technik, sondern dem Geschäftsmodell.
— Markus Seyfferth, Chefredakteur Dr. Web
Was noch offen bleibt
Lichtquelle und Präzisionsoptik sind noch nicht lokalisiert, deshalb verzögert sich der Hochlauf.
Der liegt im eingespielten Ökosystem aus Service, Ersatzteilen und Zuverlässigkeit, nicht in einem einzelnen Gerät.
Was bedeutet das für Europa?
Für europäische Entscheider zählt vor allem der Zeithorizont. ASML erwirtschaftet einen erheblichen Teil seines Umsatzes in China, und jede Maschine aus Shanghai schmälert diesen Markt; an ASMLs Optik wiederum hängt das Zeiss-Werk in Oberkochen.
Bricht Chinas Abhängigkeit, verschiebt sich auch das Machtgleichgewicht der Exportkontrollen, die zuletzt in beide Richtungen liefen. Zugleich droht bei reifen Fertigungsknoten ein Überangebot, das Chips für Autos und Industrie verbilligt, europäische Fabriken aber unter Druck setzt.
Für die eigene Lieferkettenplanung heißt das konkret: Chinas Ausrüster ab jetzt als eigenständige Größe einkalkulieren und die europäische Antwort, vom Chips Act bis zur Zeiss-Förderung, an diesem Tempo messen. Der Vorsprung liegt noch bei ASML, doch er ist erstmals terminiert.
Quelle
[1] Deutsche Welle: „China beginnt mit der Serienfertigung selbst entwickelter DUV-Belichter“ ↩
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