Wasserstoffperoxid für Halbleiter ist eine der unauffälligsten und zugleich kritischsten Zutaten der Chipfertigung. Genau diese Reinstchemie stellt Evonik seit dem Sommer 2026 gemeinsam mit dem chinesischen Partner Fuhua in einer neuen Großanlage im südwestchinesischen Leshan her. 20.000 Tonnen im Jahr laufen dort künftig vom Band, bestimmt für Chipfabriken und Solarzellen-Hersteller in Asien.
drweb.de als bevorzugte Quelle auf Google hinzufügenQualitätsgeprüfte Inhalte direkt in Google News & DiscoverJetzt hinzufügen
Das Wichtigste in Kürze
- Evonik und der chinesische Chemiekonzern Fuhua haben in Leshan (Provinz Sichuan) eine Anlage für hochreines Wasserstoffperoxid in Betrieb genommen; die Jahreskapazität liegt bei 20.000 Tonnen.
- Am Gemeinschaftsunternehmen Evonik Fuhua New Materials hält Evonik 51 Prozent, Fuhua 49 Prozent.
- Das Reinstprodukt reinigt Silizium-Wafer in der Halbleiterfertigung und dient der Produktion von Solarzellen, daneben der Lebensmittelverpackung und der Pharmaindustrie.
- Fuhua liefert das industrielle Vorprodukt direkt vor Ort; Evonik veredelt dieses Rohprodukt mit lizenzierter Technik zur geforderten Reinheit.
Warum hängt die Chipfertigung an einer klaren Flüssigkeit?
Ohne hochreines Wasserstoffperoxid läuft keine moderne Chipfabrik. Jeder Wafer durchläuft die Chemikalie dutzendfach. Verdünnt reinigt die Flüssigkeit die Siliziumoberfläche von organischen Rückständen und der dünnen natürlichen Oxidschicht, bevor der nächste Fertigungsschritt beginnt. Schon Spuren von Metallionen im Bereich weniger Milliardstel verderben die Ausbeute, weshalb Industrie-Peroxid dafür nicht taugt und erst eine aufwendige Reinigung die Halbleiterqualität liefert.[2]
Kurze Wege gaben den Ausschlag für den Standort direkt neben dem Werk von Fuhua. Der Partner liefert das industrielle Wasserstoffperoxid als Vorprodukt über den Zaun, Evonik veredelt dieses Rohprodukt mit einer lizenzierten Technik seines Geschäftsgebiets Active Oxygens zur geforderten Reinheit. Hochkonzentriertes Peroxid zerfällt mit der Zeit, gilt als Gefahrgut und lässt sich über weite Strecken nur teuer und heikel transportieren. Die Fertigung direkt am Vorprodukt spart Transportwege und hält die Verunreinigung niedrig.
Warum entsteht die Chip-Chemie ausgerechnet in China?
Evonik rückt die Produktion dorthin, wo die Abnehmer wachsen. China baut seine Chip- und Solarindustrie in hohem Tempo aus und braucht dafür lokale Reinstchemie. Für Evonik-Chef Christian Kullmann zeigt das Projekt „ein vorbildliches Kooperationsmodell mit wichtigen Partnern wie Fuhua“. Claus Rettig, Präsident der Region Asien-Pazifik, verweist auf die gestärkte Lieferfähigkeit vor Ort.[1]
Die Materialschicht rückt damit ins Licht, die sonst kaum jemand beachtet: die Spezialchemie hinter dem Chip. Neben Lithografie und Reinsträumen entscheiden Ätzmittel, Lösungen und Reinigungschemie über die Ausbeute, und deutsche Konzerne wie Evonik und Merck zählen hier zu den stillen Weltmarktführern. Gerade beim Zugriff auf solche Vorstoffe zeigte China zuletzt selbst die Muskeln, siehe die Ausfuhrkontrollen bei Gallium und Germanium. Dass ein westlicher Anbieter nun eine kritische Chip-Chemikalie mitten in China hochfährt, dreht die Logik der Debatte um chinesische Speicherchips gewissermaßen um.
Reinstchemie ist der blinde Fleck der Chip-Souveränität: Europa redet über Lithografie und Fabriken, doch ohne lokale Reinigungschemie läuft keine Linie. Dass Evonik dieses Wissen jetzt in China skaliert, sollte Brüssel mehr beschäftigen als jede einzelne Chipfabrik.
— Markus Seyfferth, Chefredakteur Dr. Web
Was heißt das für Europas Chip-Pläne?
Für europäische Entscheider verschiebt der Start in Leshan den Blick von den Fabriken zur Chemie. Der EU Chips Act will den europäischen Anteil an der Weltproduktion bis 2030 auf 20 Prozent verdoppeln, und Projekte wie das Werk von Zeiss in Oberkochen zeigen, wie sehr die Chipwelt an wenigen Zulieferern hängt. Eine Fabrik ohne lokale Reinstchemie bleibt trotzdem verwundbar. Wächst die Zellfertigung in Europa, braucht auch diese Branche Peroxid, Silber und Reinigungsmittel vor der Haustür, wie der Rückblick auf die Lieferengpässe rund um Silber in der Solarwende zeigt. Entscheider sollten die Materialschicht künftig genauso auf die Rechnung setzen wie Lithografie und Bauland.
FAQ: Wasserstoffperoxid für Halbleiter
Wofür wird Wasserstoffperoxid in der Halbleiterfertigung verwendet?
In der Chipfertigung reinigt hochreines Wasserstoffperoxid die Silizium-Wafer. Verdünnt löst die Chemikalie organische Rückstände und die dünne natürliche Oxidschicht von der Oberfläche, bevor der nächste Prozessschritt folgt. Jeder Wafer durchläuft diese Reinigung dutzendfach.
Was ist der Unterschied zwischen Industrie- und Reinst-Wasserstoffperoxid?
Industrie-Wasserstoffperoxid enthält für die Chipfertigung zu viele Verunreinigungen. Reinst- oder Halbleiterqualität wird auf Metallgehalte im Bereich weniger Milliardstel gereinigt, weil schon geringste Spuren die Ausbeute verderben. Evonik veredelt in Leshan das Vorprodukt von Fuhua zu dieser Reinheit.
Wie viel Wasserstoffperoxid produziert die neue Anlage von Evonik und Fuhua?
Die Anlage in Leshan hat eine Jahreskapazität von 20.000 Tonnen hochreinem Wasserstoffperoxid. Betrieben wird sie vom Gemeinschaftsunternehmen Evonik Fuhua New Materials, an dem Evonik 51 Prozent und Fuhua 49 Prozent halten.
Warum baut Evonik die Anlage in China und nicht in Europa?
China baut seine Chip- und Solarindustrie schnell aus und ist damit ein großer Abnehmer für Reinstchemie. Eine Produktion direkt am Markt verkürzt die Lieferkette, denn hochkonzentriertes Wasserstoffperoxid zerfällt mit der Zeit, gilt als Gefahrgut und lässt sich nur teuer über weite Strecken transportieren.
Ist Wasserstoffperoxid umweltschädlich?
Wasserstoffperoxid zerfällt nach dem Einsatz zu Wasser und Sauerstoff und hinterlässt keine dauerhaften Rückstände. In hoher Konzentration ist der Stoff jedoch ein reaktives Gefahrgut und verlangt beim Transport und in der Lagerung besondere Sicherheitsvorkehrungen.
Quellen
[2] Evonik Active Oxygens: Wasserstoffperoxid für die Halbleiter- und Elektronikproduktion
Mehr Newshunger?
- Speicherchips aus China: US-Senatoren setzen Apple eine Frist bis zum 21. August
- China fertigt erstmals eigene DUV-Belichter in Serie: der Angriff auf ASMLs Dominanz
- Germanium: Chinas Antwort auf die Chip-Sanktionen
- Gallium: Chinas schärfste Rohstoff-Waffe
- GaN-Patentstreit: Infineon gewinnt in Deutschland und den USA, verliert in China
- 222 Millionen für Zeiss: Warum die Chipwelt an einem Werk in Oberkochen hängt
