Chinesische Chip-Anlagen stehen in den Reinräumen der beiden größten Speicherhersteller der Welt, dort, wo niemand sie vermutet hätte. Rund zwei Jahre lang erprobten Samsung und SK Hynix laut einem Reuters-Bericht die Ätzmaschinen des Shanghaier Herstellers AMEC. Ausschlaggebend war nicht der niedrigere Preis, sondern die Sorge vor Washingtons nächstem Kontrollschritt.
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Das Wichtigste in Kürze
- Samsung und SK Hynix testen laut Reuters seit rund zwei Jahren Ätzanlagen des chinesischen Herstellers AMEC für ihre Werke in China.
- Auslöser ist der Entzug ihres US-Sonderstatus 2025; für 2026 gilt nur noch eine befristete Jahreslizenz.
- Beim Ätzen und Beschichten haben chinesische Anlagen aufgeholt und liegen 20 bis 30 Prozent unter den westlichen Preisen; bei der EUV-Lithografie bleibt der Rückstand groß.
- Samsung erklärte, für seinen China-Standort keine AMEC-Anlagen getestet zu haben; SK Hynix und AMEC äußerten sich nicht.
Warum greifen die Speicherriesen nach Anlagen aus China?
Den Ausschlag gibt die Handelspolitik, nicht die Technik. 2023 erhielten die China-Werke von Samsung und SK Hynix den Status als „validated end user“ und durften kontrollierte US-Anlagen ohne Einzelgenehmigung einführen. 2025 zog Washington diesen Status zurück und ersetzte ihn für 2026 durch eine Jahreslizenz, die jederzeit auslaufen kann.
Genau diese Unsicherheit treibt die Suche nach einem zweiten Lieferweg. Fällt die Lizenz weg, stünden die Milliardeninvestitionen im Speicherwerk von Samsung in Xi’an und bei SK Hynix in Wuxi ohne Nachschub an Ersatzteilen und neuen Werkzeugen da. Eine heimische Bezugsquelle senkt dieses Risiko spürbar.
Wo China aufgeholt hat und wo nicht
Der Aufholprozess ist ungleich verteilt. Bei der Lithografie, dem Belichten der feinsten Strukturen, hält der niederländische Konzern ASML mit seinen EUV-Maschinen ein Monopol, das China trotz Milliardenförderung nicht nachbauen kann; Intel fährt seine Serienfertigung mit High-NA-EUV bereits hoch. Beim Ätzen und Beschichten dagegen ist der Rückstand weitgehend geschmolzen.
Ausgerechnet der Speicher spielt AMEC in die Hände. Moderne NAND-Chips stapeln inzwischen weit über hundert Zellschichten übereinander, und jede davon muss präzise durchgeätzt werden. AMEC selbst meldet die Auslieferung eines Ätz-Werkzeugs für 3D-V-NAND-Speicher an einen führenden südkoreanischen Hersteller.[1] Chinesische Anlagen kosten dabei 20 bis 30 Prozent weniger als die von Lam Research oder Applied Materials, und erst Anfang August ließ AMEC in Wuhan eine weitere Fabrik entstehen.
Bauen selbst Samsung und SK Hynix chinesische Ätzanlagen ein, verliert der Westen sein wirksamstes Druckmittel gegen Pekings Chipindustrie: den Zugang zu den Maschinen.
— Markus Seyfferth, Chefredakteur Dr. Web
Was der Bruch für Europa bedeutet
Für die westlichen Anlagenbauer ist China ein Milliardenmarkt, der zu erodieren beginnt. Lam Research und Applied Materials führen das Ätzgeschäft an und verdienen bislang kräftig an chinesischen Fabriken. Verankert sich AMEC erst bei Samsung und SK Hynix, weitet sich der Verlust über China hinaus aus.
Auch Europa hängt drin. Der Aachener Ausrüster Aixtron liefert Beschichtungsanlagen und sammelt Rekordaufträge, und die EUV-Maschinen von ASML entstehen mit Optik von Zeiss und Lasertechnik von Trumpf. Je mehr China eigene Werkzeuge baut, desto weniger greift die Exportkontrolle als Hebel, auf den auch die EU im Chips Act setzt.
Für Entscheider in der Zulieferbranche heißt das, die Abhängigkeit vom China-Geschäft neu zu bewerten und Umsätze außerhalb Chinas aufzubauen, bevor die heimische Konkurrenz dort den Standard setzt. Ein Verlass allein auf den Technologievorsprung unterschätzt, wie schnell dieser beim Ätzen und Beschichten bereits geschrumpft ist.
Quelle
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